電子部品製造装置 研究開発・小規模生産装置

真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
LEDやパワーデバイスをはじめ、次世代の技術研究、部品開発から生産までを、キヤノンアネルバの多彩な装置ラインナップがサポートしています。

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