スパッタリング装置 EL3000シリーズ
(LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ)

電子部品製造装置 研究開発・小規模生産装置

多数枚バッチ処理方式により、LED等の小型基板を用いる分野での生産に最適な、トレイ搬送式の全自動スパッタリング装置です。

EL3000シリーズ  LED生産用スパッタリング装置

用途

LED生産用(ITO透明導電膜、メタル電極膜、等)

特長

  • 回転成膜により大面積での良好な膜厚分布が得られる為、トレイ搬送による多数枚基板のバッチ処理が可能
    φ2"基板×50枚/バッチ
    φ3"基板×25枚/バッチ
    φ4"基板×17枚/バッチ
    φ6"基板×8枚/バッチ
  • 全自動操作(排気操作、基板搬送、成膜プロセスを全自動で処理可能)
  • φ7.1"カソードもしくはφ12.5"カソードを最大4基標準搭載
  • ロータリーマグネトロンカソードによる高いターゲット利用効率を実現
  • スパッタ室増設やストッカー機構増設などにより、用途や生産量などに応じて装置構成をカスタマイズする事が可能

仕様

装置構成:
ロードロック式、トレイ搬送方式
対応基板サイズ:
φ2"基板~φ8"基板
カソード:
φ7.1"カソード×最大4基、もしくはφ12.5"カソード×最大4基
操作方法:
全自動(排気、搬送、成膜)

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