スパッタリング装置

真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
キヤノンアネルバは、製造ラインに用いられる信頼性の高いスパッタリング装置を開発・製造しています。
ナノレベル領域において、スパッタリングによる成膜工程は大変重要な役割を担っています。





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