多世代対応縦型スパッタリング装置 DL3x00シリーズ

DL3x00シリーズ  多世代対応縦型スパッタリング装置

大型LCD-TV市場の拡大と共に、マザーガラスサイズも多世代に渡り拡大しています。TV画面の拡大と投資生産性の両立が、益々重要な課題として装置コンセプトに求められています。
当社では従来のインライン方式及びクラスタ方式の長所を融合し、新たな装置コンセプトを合わせ持ったスパッタリング装置DL3x00シリーズを開発し投入しています。

DL3x00シリーズ  多世代対応縦型スパッタリング装置

用途

パネルデバイスの生産(第5~5.5世代対応)

特長

  • 縦型搬送方式を採用した2枚同時成膜処理で高スループットを実現
  • 当社独自のマルチトライアングルカソードの採用により、1室当たり最大3種の異種材料積層プロセスを可能とし、省設置スペース化を実現
  • ターゲットの小面積と高利用率により、ランニングコストの大幅な抑制を実現

仕様

装置構成:
縦型インライン式
対応基板サイズ:
G5、G5.5対応

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