水平型インライン式スパッタリング装置 SL3000シリーズ

SL3000シリーズ  水平型インライン式スパッタリング装置

主に太陽電池用途に向けた各種電極、プリカーサー形成に適した水平型インライン式スパッタ装置です。市場要求から得たよりシンプルな構成を追求したコンセプトを有しています。

SL3000シリーズ  水平型インライン式スパッタリング装置

用途

太陽電池の生産

特長

  • タクトタイムの短縮
  • 材料使用効率の高いカソードを搭載
  • トレイレス搬送によるランニングコスト抑制

仕様

装置構成:
水平型インライン式
対応基板サイズ:
応相談

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