インライン式スパッタリング装置 SL3x00シリーズ

SL3x00シリーズ  インライン式スパッタリング装置

液晶表示デバイスの生産プロセスで作成されるITO透明導電膜、金属電極配線膜、絶縁膜などの成膜で要求されるゴミの低減や自動化、低稼働率に対応して開発された縦型インライン式スパッタリング装置です。

SL3x00シリーズ  インライン式スパッタリング装置

用途

パネルデバイスの生産

特長

  • トレイ2枚を搬送しながら両面に膜を形成可能
    (大型基板の大量処理が可能)

仕様

装置構成:
縦型インライン式
対応基板サイズ:
~G3.5対応

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