磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300

HC7300  磁気ヘッド用成膜加工装置
(Milling→Insulator→Hard Bias→Cap Layer一貫対応)

磁気ヘッドの各プロセスを一挙に集約。
キヤノンアネルバのラインナップだからこそ可能になった、磁気ヘッド一貫生産装置です。

HC7300 Milling→Insulator→HARD Bias→Cap Layer 一貫製造装置

用途

磁気ヘッドの生産

特長

  • PR on TMRの状態から、Millingと各種デポジションにより、Cap Layerまでの一貫加工処理を実現
  • 各要素に求められる最適加工形状を可能にする為の、最適なモジュールラインナップを搭載可能
    (IBE、異方性スパッタ、等方性スパッタ、RIEなど)
  • 真空一貫プロセスにより、良好な膜特性と高い生産性を実現

仕様

装置構成:
クラスター式
対応基板サイズ:
φ150mm、φ200mm

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