製品保守情報

お客様各位

件名

文書番号

V9210-0993

 

I-1060 Z軸モ-タ製造中止情報

発 行 日

2000年01月06日

アネルバ株式会社
フィ-ルドサ-ビス事業部

拝啓 貴社益々ご隆昌の事とお慶び申し上げます。又平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上げます。

さっそくですが、この度弊社製スパッタリング装置:I-1060のT2駆動部に搭載の、Z軸モ-タとサ-ボアンプ(共に安川電機製)が製造中止となりましたので、ご連絡致します。代替モ-タ及びサ-ボアンプは現在評価・選定中であり、完了次第再度ご連絡させて頂く所存です。

弊社では、今後共貴社のご要望にお応え出来ます様に、更に努力して参ります所存でございますので、より一層のご指導ご鞭撻を賜ります様お願い申し上げます。

敬具

対応する項目を■印で選択

対象製品

I-1060スパッタリング装置

□詳細別紙

発行理由

□ 製品性能の向上、それに伴う部品やソフトウエアの変更

■ 製品や部品の製造中止等に伴う代替措置

□詳細別紙

処置内容

I-1060のT2駆動部に搭載の、Z軸モ-タとサ-ボアンプを代替品に変更致します。代替品は、現在評価・選定中です。

  • * Z軸モ-タ : USAREM-01CE2K
  • * サ-ボアンプ : CACR-SR01AC1ER
  • * 上記の修理対応は、2003年4月までを予定しております。それ以降の修理対応は、代替品との乗せ替え対応となります。

□詳細別紙

価格・納期

改造時期

現在評価・選定中であり、完了次第再度ご連絡させて頂く所存です。

□詳細別紙

スケジュ-ル

現在評価・選定中であり、完了次第再度ご連絡させて頂く所存です。

□詳細別紙

備 考

 

□詳細別紙

ご不明な点は下記へお問い合わせ下さい。

関東地区/東京

東日本サ-ビス
(042-360-7115)

東北地区/仙台

東北サ-ビス
(022-297-4092
)

関西地区/大阪

西日本サ-ビス
(06-6304-6700)

中国地区/広島

中国サ-ビス
(0848-62-7811)

九州地区/熊本

九州サ-ビス
(096-385-3111)

   


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