製品保守情報

お客様各位

件名

文書番号

V6975-0249

 

C-3010 真空ロボット
O/H時のθ軸駆動部の改造実施
と保守/点検実施のお願い

発 行 日

2002年2月21日

アネルバ株式会社
装置事業部
共通設計グループ

拝啓 貴社益々ご清栄のこととお喜び申し上げます。平素は格別のご高配を賜り、厚くお礼申し上げます。

この度、弊社製デスクスパッタ装置C-3010に搭載・使用している真空ロボットにおいて、長期間に渡っての安定した動作の確保及び、駆動部品の耐久寿命を伸ばす為に、従来よりご案内させていただいていた定期O/Hにおいて、θ軸駆動部の改善工事の追加と、日常の保守/点検の実施をお願い致したく、以下にご報告させていただきます。

1)θ軸駆動軸の改造
θ軸モータ軸には構造上ハーモニックドライブの振動が伝わっており、組立状態によっては、θ軸モータ内部のベアリンクに負荷が掛かり、使用後、短期間(1年以内)でベアリングが破損に至る可能性がある事が判りました。
組立状態による固体差をなくす為に、以下の改造をO/H時に随時実施させていただきます。
  ・ハーモニックギアとモータ軸の芯出しの精度を向上し、振動を押さえます。
  ・ハーモニックギアとモータ軸間にカップリングを追加し、ハーモニックギアからの振動が直接モータ軸に伝わらない様にクッション効果を持たせる事で、耐久性の余裕度を増します。
  ・モータフレームの振動を測定し、0.5G以下である事を確認し、出荷します。

2)保守点検項目の追加
機構部の耐久性の確保及び、故障の未然防止を図る為に、添付保守/点検基準書に従い、日常点検、定期点検の実施をお願いします。
尚、記載してある点検サイクルは、一般的な使用例であり、稼動時間によって異なってきます。
C-3010生産機においては、以下の期間を目安に保守/点検の実施をお願いします。
   1).日常点検 (外部目視、聴音検査)
   2).2ヵ月点検(ロボット外部からの触手検査の実施)
   3).4ヵ月点検(ロボット機内の目視、触手検査の実施)
   4).8ヵ月点検(駆動部のグリスアップの実施)
   5).2年時点検(オーバーホールの実施)

敬具

対応する項目を■印で選択

対象製品

C-3010 ディスクスパッタ装置

□ 詳細別紙

発行理由

□ 品質・安全等に関する最新情報の提供

■ 既納製品の改良が期待出来る最新技術の提供

□詳細別紙

処置内容

・O/H時にθ軸モータに伝わる振動を押さえる構造に改造します。
・保守/点検基準書に基づく点検作業の実施をお願いします。

□詳細別紙

価格・納期

作業時間

・θ軸駆動部の改造については、通常のO/H費用内にて実施します。

□詳細別紙

備考

長期間に渡っての安定した動作の確保及び、駆動部品の耐久寿命を伸ばす為に、2年ごとのO/Hの実施をお願いします。

□詳細別紙

ご不明な点は下記へお問い合わせ下さい。

東北地区/東北支店 022-776-3250 関東地区/関東支店 042-334-0223
筑波地区/筑波支店 0298-24-9811 名古屋地区/名古屋支店 052-773-3005
関西地区/関西支店 06-6305-1401 中国地区/中国支店 0848-62-7811
九州地区/九州支店 096-385-3111    


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