装置メンテナンスサポート

お客様の大切な装置を長期間安定してご使用頂くために、最適な周期でパーツ・ユニット交換、ポンプなどのメンテナンスを実施する"提案型保守サービス"を提供します。これにより装置の故障を未然に防ぐと共に高い性能を維持し、稼動効率UPと計画的な予算運営に貢献します。

  • 装置全体リフレッシュオーバーホール
  • 排気系オーバーホール
  • 真空内部オーバーホール
  • 装置移設

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