製品安全情報

製品安全情報

弊社製品に関わる製品安全情報を掲載しております。
ご不明な点に関しましては、最寄りの営業・サ-ビス拠点までお問い合わせくださいますようお願い申し上げます。


番号 件名 発行日
37 [再掲示]薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い 2016年10月14日
36 弊社製品に同梱されている電源コードセットの電気用品安全法(PSE)対応について 2015年11月12日
35 V-025SV シリーズ アイソレイトバルブ使用状態確認のお勧め 2015年6月30日
34 EGP-230 電子銃制御装置ご使用上の注意に関して 2015年6月30日
33 [再掲示]電気・電子部品に関する定期点検のおすすめ 2015年5月20日
32 [再掲示]真空測定ゲージ球接続ケーブル点検および更新のお勧め 2015年4月8日
31 真空測定ゲージ球接続ケーブル点検および更新のお勧め 2014年11月21日

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番号 件名 発行日
30 [問合せ先変更]300シリーズスパッタ装置タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせ2014年9月18日
29 XPR2/XPR3用 Windows7対応ソフトウエア FabGuard Explorerのご案内 2014年6月27日
28 L-201D(-L)エッチング装置エッチング電極部メンテナンスのお勧め 2014年5月30日
27 AE社製DC電源(MDX-2.5K)更新のお勧め 2014年5月30日
26 I-1080/I-1201/I-1230スパッタ装置シャッター用モーターおよびドライバー更新のお願い 2014年4月30日
25 装置組込用サーモカップル真空計(MTG-1013)更新のお勧め 2014年4月25日
24 クライオポンプ コンプレッサユニット(CRC-874/P-875CA/P-876CA)用アドゾーバ変更のお知らせ 2014年4月25日
23 A-210M-LD/220M-LD/221M-LD/230M-LD ヘリウムリ-クディテクタ更新のお願い 2014年2月27日
22 CRC-873クライオコンプレッサー更新のお願い 2014年2月27日
21 マスフィルタのWindows 7への対応についてのお知らせ 2014年2月13日

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番号 件名 発行日
20 基板ホルダーやカソード周辺のねじ締め式ケーブルコネクタ類定期増し締めのお願い 2013年8月22日
19 クライオポンプ使用上の注意事項 2013年7月24日
18 ストレートタイプHNコネクタ付きRFケーブル取扱い時の注意点、および取外し時コネクタに異常がある場合の処置について 2012年5月14日
17 押締端子台をご使用のお客様にご注意とお願いのお知らせ 2011年11月10日
16 300シリーズスパッタ装置タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせ 2011年9月20日
15 (欠番)
14 電気・電子部品に関する定期点検のおすすめ 2010年10月15日
13 薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い 2010年8月21日
12 クライオコンプレッサ ヘリウムガス充填作業時の注意 2010年7月20日
11 Φ7.1RMカソード搭載装置ターゲット交換におけるお知らせ 2010年1月26日

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番号 件名 発行日
10 I-1000シリーズターゲット積算電力パルス出力に関するご注意と監視ソフトのご案内 2008年12月5日
9 薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い 2008年11月10日
8 SPF(L)-312,313,332スパッタ装置
蓋開閉用タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせと定期点検項目追加のお願い
2008年6月5日
7 電離真空計保守交換時の作業注意に関するお願い 2007年5月15日
6 (欠番)
5 カソードマグネットに希土類マグネット(Sm-Co)を使用している装置に関する
運用上の注意事項のお知らせ
2005年1月14日
4 産業用ロボットに関するご案内 2003年9月8日
3 I-1000シリーズTarget固定ボルトの管理のご案内 2003年2月18日
2 三菱電機株式会社製 MELSEC-GOT900シリーズにおけるバックライト不具合の対策について 2002年1月28日
1 内蔵バッテリ-を有するユニット類のバッテリ-定期交換に関するお知らせ 2000年10月27日

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